氦质谱检漏设备是一种质谱仪，主要用于真空检漏。它具有良好的性能和高灵敏度的优点。一般来说，氦质谱检漏设备由质谱仪室、真空系统、电气系统，有时还有辅助真空系统组成。以180°磁偏转分析仪检漏设备为例，详细介绍了其主要组成部分。

　　一、质谱室

　　形象地说，质谱室是氦质谱检漏的心脏，由离子源、分析器和电气控制系统三部分重要组成，冷阴极磁控规也放在其中，共享其磁场。为了一个便于微小粒子流的放大，第一级放大的高阻和静电计管也放在质谱室。质谱室外壳由非磁性金属材料可以制成，内部抽真空，外部之间装有电机永磁体，形成磁分析器的磁场。

　　二、真空系统

　　真空管理系统提供质谱室正常操作的条件。由于钨阴极在正常工作时需要具有0.001-0.01Pa的真空度，同时可以保证氦离子在分析仪中的高输运率，因此需要建立高真空环境系统。系统中的节能阀应能满足质谱室工作压力的调节，当阀全开时，检漏灵敏度较高，因此，在条件允许的情况下，建议多开。为了校准检漏灵敏度，在系统中设置标准检漏孔。

　　三、电气系统

　　氦质谱仪电气部分的核心是质谱仪的电源和测量，其余部分包括真空系统的电源和控制部分、控制面板和输出仪表。主要包括小电流放大器和输出装置、低频发生器、高压整流器和发射电流稳定装置，高压整流器为冷阴极磁控管电源供电。

　　辅助真空系统配置

　　在氦质谱检漏技术中，根据被检件的结构、尺寸要求和具体的检漏条件，需要设置辅助真空系统，具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行气体导流、缩短反应时间和清洗时间、减少对灵敏度的不利影响等功能。在某些情况下是非常必要的。

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