氦质谱检漏设备的检测灵敏度高、反应速度快、定位和定量准确等优点得到广泛应用。但是在长期的使用过程中难免会有故障的发生，为了不影响设备的正常使用，常规的维护保养是必要的，那么我们在使用氦质谱检漏设备时要如何保养呢？今天昱锋的小编来和大家分析一下：
　　①如果仪器不是每天都使用，建议每周启动并检查一次，以保持仪器的高真空系统处于真空状态，在后期使用过程中可以缩短仪器的启动时间。
　　②仪器部件（如离子源）拆卸后，安装过程中应避免在安装现场发生泄漏，仪器可用于泄漏检测。
　　③及时对泄漏处（如放气阀等）进行自检。）可能出现在仪器上，并在发现泄漏点后及时移除、清洁或紧固，以免在泄漏检测过程中干扰泄漏检测。

　　④检漏仪维护定期维护油泵。（散热口粉尘处理及泵油的检查和更换）
　　⑤严禁在检漏仪上，尤其是进气口处掉落或喷洒任何异物。由于氦质谱检漏设备是一种高精度仪器，其储存和使用环境应保持清洁卫生。只有经过培训或合格的设备维护工程师才能使用该仪器。
　　⑥使用时，请注意仪器的操作。一旦出现大振动、高噪音等状况时，仪器在操作过程中不能移动。涡轮分子泵正在高速运转。如果泄漏检测器移动，涡轮分子泵中的叶片将很容易与转子的圆筒碰撞。立即切断电源并排除故障，否则会对氦质谱检漏设备造成不良影响。
　　综上所述就是苏州市昱锋电子科技有限公司的小编分析的氦质谱检漏设备的保养方法，希望对大家有帮助。